S49 31 质量流量控制器和质量流量计特点： 　　　☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。 　　　☆耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽，气体流量不因温度、压力的变化而变化。 　　　☆具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定。 　　　☆可任意位置安装。电气操作控制显示，使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。 　　　☆配合MT-60 系列流量积算仪，可对气体的瞬时流量和累积流量进行计量。 　　　S49 31 质量流量控制器和质量流量计主要应用领域： 　　　半导体制造行业的气体流量控制； 　　　分析仪器设备的气体计量与控制； 　　　各种形式的真空镀膜设备； 　　　环境检测与分析设备； 　　　化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业气体流量检测和控制； 　　　特种材料表面处理装置与燃烧控制； 　　　混气配气系统和泄露探测系统等。 S49系列质量流量控制器和质量流量计型号 　　　S49 31 系列质量流量控制器，S49为质量流量控制器和质量流量计产品，31/MT为本公司此产品设计序列号。 　　　其中：S49 31/MT 系列为质量流量控制器。 　　　　　　S49 31A/MT 系列为质量流量计。 　　　质量流量计用于气体质量流量测量计量；质量流量控制器不但具有质量流量计的测量计量功能，还具有自动控制气体流量的功能。 主要技术指标 　　　质量流量计和质量流量控制器流量出厂通常用氮气(N2)标定。 　　　质量流量单位为：标准状态mL/min （毫升/分钟） （SCCM行业标准）； 　　　 标准状态L/min （升/分钟）（SLM行业标准）。 　　　标准状态为：温度----0℃； 　　　 气压----101325Pa 　　　F.S(Full Scale):表示满量程值 　　　 表1 S49 31/MT流量控制器、S49 31A/MT流量计技术指标 编号 项目 S49 31/MT S49 31A/MT 1 流量规格 (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; (0～1,2,3,5)L/min 2 调节阀类型 电磁调节阀 3 调节阀静止状态 常闭 4 准确度 ±1%F.S(10mL/min～5L/min规格，其余规格≤±2% F.S) 5 线性 ±1.0%F.S，±1.5%F.S 6 重复精度 ±0.2%F.S 7 响应时间 (3～4)s 8 工作压差范围 (0.05～0.3)MPa; (0.1～0.3)MPa(10～30)L/min 9 耐压 3MPa; 10MPa 10 工作环境温度 5℃～45℃ 11 材料 不锈钢316L 12 标准密封材料 Viton®， EPDM， 或其他由用户 13 漏率 1×10-9atm.mL/s (He) 14 接头 Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)， 软管接头Ф4mm～Ф10mm 或其他 15 输入输出信号 0V～＋5.00V (输入阻抗≥100KΩ,负载输出电流能力≤3mA) 16 供电电源 ±15V（±2%）（＋15V 50mA, －15V 200mA） 17 外形尺寸mm 134×134×38 18 重量kg 1.0